Centre Castaing

La microscopie électronique à balayage MEB (ou « Scanning Electron Microscopy » SEM) permet une analyse morphologique, structurale et chimique d’échantillons solides à l’échelle micronique, voire nanométrique.

Elle est fondée principalement sur la détection des électrons secondaires émergents de la surface sous l’impact d’un très fin pinceau d’électrons primaires qui balaye la surface observée et permet d’obtenir des images avec un pouvoir séparateur souvent inférieur à 5 nm et une grande profondeur de champ.

La MEB utilise, en complément, les autres interactions des électrons primaires avec l’échantillon : émergence des électrons rétrodiffusés, absorption des électrons primaires, ainsi que l’émission de photons X et parfois celle de photons proches du visible. Chacune de ces interactions est souvent significative de la topographie et/ou de la composition de la surface.

Sa grande commodité d’utilisation, sa souplesse pour visualiser des champs d’extension très variables sur des échantillons massifs, l’étendue de sa profondeur de champ font du MEB un outil indispensable dans l’exploration du monde microscopique.

Son utilisation est courante en chimie, biologie, médecine, géologie, métallurgie ainsi qu’en mécanique.

Le centre de microcaractérisation R. CASTAING dispose de quatre MEB :