Centre Castaing

Le service de Microanalyse par Sonde Ionique, historiquement implanté pendant de nombreuses années au sein du département de Physique de l’INSA de Toulouse, a intégré en 2014 le Centre Raimond CASTAING de microcaractérisation.

L’instrument principal de ce service, le SIMS CAMECA IMS4FE6, est un outil de référence pour l’analyse quantitative des éléments, en particulier dans les semi-conducteurs, grâce à ses limites de détection exceptionnelles pouvant atteindre le niveau du ppb et sa capacité à analyser l’ensemble des éléments du tableau périodique, y compris les éléments légers.

En 2017, le service s’est enrichi avec l’introduction d’une nouvelle technique : la GDOES (Glow Discharge Optical Emission Spectroscopy) appelée en français Spectroscopie de Décharge Luminescente (SDL). Cette méthode innovante, à la fois rapide et relativement simple à mettre en œuvre, permet d’analyser les éléments légers dans les solides.

Depuis fin 2024, l’intégration du ToF-SIMS (TOFWERK) au sein du nouveau MEB-PFIB multigaz (Helios 5 Hydra CX - Thermo Fisher Scientific) offre aux utilisateurs la possibilité d’accéder aux analyses uniques du SIMS (limites de détection uniques, détection des isotopes et des éléments légers) tout en bénéficiant de la résolution spatiale caractéristique d’un MEB-PFIB.
Cet équipement permet également la réalisation de grandes découpes et la manipulation de grands objets (jusqu’à 500 µm), la préparation de lames pour la microscopie électronique en transmission (TEM), la tomographie 3D en imagerie, EDS et/ou EBSD, ainsi que des usinages spécifiques, élargissant considérablement les possibilités de préparation et de caractérisation des échantillons.

Le logiciel Avizo permet la reconstruction en trois dimensions des données de tomographie, leur visualisation et leur exploitation quantitative.