Centre Castaing
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Microscopes Electroniques en Transmission (MET)
La microscopie électronique en transmission (TEM) permet une analyse morphologique, structurale et chimique d’échantillons solides à l’échelle atomique.
Cette technique repose sur l’interaction des électrons avec la matière et la détection des électrons ayant traversé l’échantillon. Les échantillons étudiés doivent donc être préalablement amincis afin d’être transparents aux électrons.
Le Centre de microcaractérisation R. Castaing dispose pour cela d’un ensemble de techniques de préparation, dont le FIB (Focused Ion Beam) et amincisseur ionique (PIPS).
Une multitude d’informations peuvent être obtenues par TEM comme l’épaisseur des couches, la morphologie des matériaux en coupe, leur structure (amorphe ou organisée), la nature des défauts cristallins, l’orientation cristalline, la taille des grains pour les échantillons polycristallins.
Le TEM couplé à une analyse chimique permet d’accéder à la nature des couches et interfaces ou à la distribution d’un élément dans une couche.
Le Centre de microcaractérisation dispose de cinq microscopes électroniques en transmission :