Contacts
Claudie Josse, Stephane Le Blond Du Plouy, Arnaud Proietti
Présentation
Le JSM-7800F Prime est un microscope électronique à balayage à émission de champ (FEG) haut de gamme qui permet d’atteindre la résolution sub-nanométriques à toutes les tensions d’accélération mais également de grandes capacités analytiques (jusqu’à 600nA de courant).
Il est particulièrement destiné à l’observation d’objets à très haute résolution (0.8nm). A faible tension d’accélération, l’observation de matériaux isolants sans métallisation préalable est également possible (mode décélération d’électrons, piège à électrons dans la colonne, acquisition des images en mode balayage alternatif...).
Il est équipé d’un spectromètre EDS SDD, d’un plasma cleaner et des nombreux détecteurs (SEI et BEI dans la chambre et dans la colonne).
Caractéristiques Techniques
- Source à émission de champ type Schottky
- Résolutions : 0.8nm (de 1kV à 30kV) - 1.2nm à 200V
- Courant de sonde de 1pA à 600nA en continu
- Mesure de courant intégré
- Détecteur d’électrons secondaires type Everhart-Thornley
- Détecteur d’électrons rétrodiffusés aux faibles angles (SRBEI)
- Détecteurs d’électrons secondaires et rétrodiffusés in-lens
- Observation possible des échantillons isolants sans métallisation préalable (mode décélération d’électrons, piège à électrons dans la colonne, acquisition des images avec le mode de balayage alternatif...)
- Système de nettoyage intégré (plasma cleaner GV10x ASHER de IBSS)
- Détecteur EDS SDD X-Max 80mm2 Oxford Instruments AZtecEnergy
- Camera EBSD CCD (haute sensibilité) Nordlys Nano Oxford Instruments
- Platine Peltier - gamme de température : -50°C à +100°C avec une précision de +/- 1°C
- Date d’acquisition : 2014
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