Contacts
Teresa Hungria, Claudie Josse, Clément Long
Présentation
Helios 5 Hydra CX - Thermo Fisher Scientific
(Acquisition : décembre 2024)
L’Helios 5 Hydra CX (Thermo Fisher Scientific) est un microscope électronique à double faisceau (DualBeam) de dernière génération, combinant :
• un canon à électrons à émission de champ Schottky (Elstar UC+),
• une colonne ionique plasma multigaz (Xe, Ar, N, O) capable de délivrer de très forts courants ioniques.
Cette configuration offre une polyvalence exceptionnelle pour l’usinage, l’imagerie et l’analyse avancée des matériaux
Capacités et applications
Grâce à ce nouveau microscope à double faisceau, il est possible de :
• réaliser des découpes de grandes dimensions (jusqu’à 500 µm),
• préparer des lames minces pour la microscopie électronique en transmission (TEM)
• effectuer des imageries et des analyses chimiques et cristallographiques en 3 dimensions (tomographie 3D).
L’intégration du ToF-SIMS permet d’étendre considérablement les capacités analytiques, notamment pour la détection et la cartographie d’éléments légers tels que Li, H… impossibles à analyser avec les techniques conventionnelles.
Sources
• Source électronique : Elstar UC+ à émission de champ Schottky
• Source ionique plasma multigaz : Xe, Ar, N, O
Courants ioniques maximum à 30 kV :
• Xe : 2,5 µA
• Ar : 4,3 µA
• O : 1,5 µA
• N : 2,8 µA
• Temps de commutation entre gaz : < 5 min
• Shutter de protection pour fonctionnement à forts courants
Imagerie
• Détecteur SE Everhart–Thornley
• Détecteur SE/BSE TLD (Through-The-Lens Detector)
• Détecteur CBS
• Détecteur ICE
Analyse chimique et cristallographique
• EDS SDD Ultim max 100 mm ² (Oxford Instruments) avec module EDS-3D
• EBSD Symmetry S3 (Oxford Instruments) avec module EBSD-3D
• ToF-SIMS (TofWerk) – CTOF
Analyse et visualisation 3D
Grâce au logiciel d’acquisition Auto Slice-and-View et aux systèmes analytiques EDS-3D, EBSD-3D et ToF-SIMS-3D, il est possible de reconstruire et visualiser la matière en trois dimensions, offrant une compréhension approfondie de la micro- et nanostructure des matériaux.
Accessoires
• Injecteurs de gaz (GIS) pour dépôts de platine, carbone et tungstène
• Micromanipulateur EasyLift
• Neutraliseur de charges
• Plasma cleaner intégré
Logiciels
• AutoTEM 5 – préparation automatique de lames TEM
• Auto Slice-and-View 5 – tomographie 3D
• Avizo – reconstruction et visualisation 3D
• Nanobuilder – planification systématique de constructions nanométriques
• AutoScript 4 – automatisation et scripts personnalisés
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