Contacts
Philippe De Parseval, Sophie Gouy
Présentation
La microsode Cameca SXFive est une microsonde électronique aussi appelée microsonde de Castaing, dernière génération de microsonde de la Société Cameca basée à Gennevilliers. Elle permet de réaliser des analyses quantitatives in situ de la composition chimique de matériaux pour les éléments allant du Be à l’U soit la quasi-totalité de la classification périodique avec des limites de détection de l’ordre de 0,01%.
Les applications sont variées et concernent des domaines dont une liste non exhaustive est présentée ci-dessous :
- les Sciences de la Terre : Minéralogie, Pétrologie, Géochimie, ... ;
- les Sciences des Matériaux : couches minces, supraconducteurs, composites, semi-conducteurs, bétons, verres, céramiques, ... ;
- la Métallurgie ;
- la Médecine : Ostéologie, Pneumologie, Odontologie, ... ;
- l’Archéologie : Numismatique, terres cuites, tessons, ...
Date d’installation : mars 2014
Caractéristiques techniques
- Une colonne avec une source à filament de tungstène
- Tension d’accélération de 1 à 30 kV
- Diamètre de faisceau en mode analytique : 600 nm @ 15 keV, 100 nA ; 400 nm @ 10keV, 10nA
- Courant du faisceau maximum : jusqu’à 10 μA
- Régulation du courant : ± 0.05% par heure à 20keV, 20nA
- 5 spectromètres WDS avec des cristaux spécifiques pour les éléments légers (B, C, N,O)
- Un détecteur d’électrons secondaires "multiguide" (marque déposée)
- Un détecteur d’électrons rétrodiffusés à 6 diodes avec mélange des signaux électroniques.
- Un détecteur de cathodoluminescence
- Un stabilisateur du courant de la sonde par boucle de contre-réaction de 0,5 nA à 300 nA. Pilotage du courant de 300 nA à 10μA par cage de Faraday.
- Système de visualisation optique (lumière transmise, réfléchie, polarisée) couplé avec un zoom et la focalisation automatique
- Un système de mise sous vide entièrement automatique avec toutes les sécurités nécessaires, comprenant une pompe turbomoléculaire de 300 l/s et une pompe primaire sèche (type Triscroll).
- Un mouvement-objet automatisé permettant de grands déplacements (50 mm x 80 mm) et comprenant : Un système de positionnement de l’objet par moteur pas à pas (0,1 μm) à contre réaction de position par codeurs optiques (± 0,5 μm).
- Un système de chargement de l’objet par navette avec un sas d’introduction rapide de l’échantillon
- Manette "type Joystick" pour piloter les axes X, Y et Z du mouvement objet.
- Détecteur compact EDS SDD Bruker XFlash 5010 10mm2
Planning de réservation
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