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Microsonde Electronique CAMECA SXFive

Contacts

Philippe De Parseval, Sophie Gouy

Présentation

La microsode Cameca SXFive est une microsonde électronique aussi appelée microsonde de Castaing, dernière génération de microsonde de la Société Cameca basée à Gennevilliers. Elle permet de réaliser des analyses quantitatives in situ de la composition chimique de matériaux pour les éléments allant du Be à l’U soit la quasi-totalité de la classification périodique avec des limites de détection de l’ordre de 0,01%.

Les applications sont variées et concernent des domaines dont une liste non exhaustive est présentée ci-dessous :

  • les Sciences de la Terre : Minéralogie, Pétrologie, Géochimie, ... ;
  • les Sciences des Matériaux : couches minces, supraconducteurs, composites, semi-conducteurs, bétons, verres, céramiques, ... ;
  • la Métallurgie ;
  • la Médecine : Ostéologie, Pneumologie, Odontologie, ... ;
  • l’Archéologie : Numismatique, terres cuites, tessons, ...

Date d’installation : mars 2014

Caractéristiques techniques

  • Une colonne avec une source à filament de tungstène
  • Tension d’accélération de 1 à 30 kV
  • Diamètre de faisceau en mode analytique : 600 nm @ 15 keV, 100 nA ; 400 nm @ 10keV, 10nA
  • Courant du faisceau maximum : jusqu’à 10 μA
  • Régulation du courant : ± 0.05% par heure à 20keV, 20nA
  • 5 spectromètres WDS avec des cristaux spécifiques pour les éléments légers (B, C, N,O)
  • Un détecteur d’électrons secondaires "multiguide" (marque déposée)
  • Un détecteur d’électrons rétrodiffusés à 6 diodes avec mélange des signaux électroniques.
  • Un détecteur de cathodoluminescence
  • Un stabilisateur du courant de la sonde par boucle de contre-réaction de 0,5 nA à 300 nA. Pilotage du courant de 300 nA à 10μA par cage de Faraday.
  • Système de visualisation optique (lumière transmise, réfléchie, polarisée) couplé avec un zoom et la focalisation automatique
  • Un système de mise sous vide entièrement automatique avec toutes les sécurités nécessaires, comprenant une pompe turbomoléculaire de 300 l/s et une pompe primaire sèche (type Triscroll).
  • Un mouvement-objet automatisé permettant de grands déplacements (50 mm x 80 mm) et comprenant : Un système de positionnement de l’objet par moteur pas à pas (0,1 μm) à contre réaction de position par codeurs optiques (± 0,5 μm).
  • Un système de chargement de l’objet par navette avec un sas d’introduction rapide de l’échantillon
  • Manette "type Joystick" pour piloter les axes X, Y et Z du mouvement objet.
  • Détecteur compact EDS SDD Bruker XFlash 5010 10mm2

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